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島津分子泵TMP-2404/3304/4304

簡要描述:島津分子泵TMP-2404/3304/4304mks支持RS232C標準的連續(xù)通訊-可以對轉速、電流值進行監(jiān)控,異常狀況可以早期發(fā)現(xiàn)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-10-15
  • 訪  問  量:1127
詳情介紹

島津分子泵TMP-2404/3304/4304mks的性能:

*超聲波**清洗轉/定子葉片及腔體 并烘干

*更換了全套進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
*馬達線圈阻值測量,轉子定子間隙測量
*根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動平衡至G0.16標準
*測試0-27000rpm啟動時間<3分鐘
測試極限真空值<1.0*10-7mbar
持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時
*0-20KHz震動頻譜加速度分析
*6000-27000rpm全轉速動平衡分析及校準
*Inficon UL1000氦質譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/

  

島津分子泵TMP-2404/3304/4304mks特點:
寬量程、大排量-可在廣闊的壓力范圍內使用                
電源裝置比前期型號尺寸縮小一半-能使配電盤的面板小型化
電源裝置不再使用蓄電池-電源裝置無需維護
加熱后真空度可達10-9Pa-能滿足超高真空和大抽速的需求
支持RS232C標準的連續(xù)通訊-可以對轉速、電流值進行監(jiān)控,異常狀況可以早期發(fā)現(xiàn)
轉速可調機能-轉速可在25%~100%范圍內調節(jié)
具有自我診斷功能-實現(xiàn)故障的早期發(fā)現(xiàn)
允許突然掉電的次數(shù)為260次-如果以1次/周即52次/年來計算,可使用5年無需保養(yǎng)
自由調整機能-同一機種的泵、電源裝置、電纜都可互換
可多方位安裝-提高了設備設計的自由度
風冷普通型/化學型
TMP-203M/MC
TMP-303M/MC
TMP-403M/MC
TMP-803M/MC
TMP-1003M/MC
TMP-1103MP/MPC
TMP-2003M/MC




水冷普通型/化學型
TMP-203LM/LMC
TMP-303LM/LMC
TMP-403LM/LMC
TMP-803LM/LMC
TMP-1003LM/LMC
TMP-1103LMP/LMPC
TMP-1303LM/LMC
TMP-2003LM/LMC
TMP-2203LM/LMC
TMP-3203LM/LMC
TMP-4203LMC
(烘烤后)到達圧力(Pa)普通型
10-8
10-8
10-8
10-9
10-9
10-9
10-8
10-9
10-8
10-9

                   化學型
10-7
10-7
10-7
10-7
10-8
10-8
10-7
10-8
10-7
10-8
10-7
最大吸氣口壓力(Pa)  風冷型 
1.3
1.3
1.3
1.3
1.3
1.3
0.4




                   水冷型
200
200
200
400
400
70
133
67
40
40
10
最大排氣口壓力(Pa)  風冷型
40
40
40
40
40
270
40




                   水冷型
400
400
400
665
665
800
270
270
270
270
270
排氣速度(L/s)











                      N2
190
320
420
800
1080
1080
1300
2000
2140
3200
4200
                      He
140
340
360
800
930
1040(對于Ar)
1050
1800
2000
3000
4000
                      H2
120
320
340
700
790
800
750
1600
1350
2400
2800
壓縮比











                      N2
109以上
109以上
109以上
109以上
109以上
109以上
6×108
109以上
1.4×108
109以上
8×108
                      He
6×104
8×104
8×104
8×104
8×104
107
1×104
7×105
1×104
3×105
1.8×105
                      H2
4×103
1×103
1×103
4×103
4×103
106
1×103
1.4×104
1×103
1×104
1.0×104
額定轉數(shù)(RPM)
50000
45000
45000
35000
35000
36000
30300
27000
24600
21000
18000
起動時間
5分以內
5分以內
5分以內
5分以內
5分以內
5分以內
7分以內
9分以內
11分以內
13分
18分以內
安裝方向
多方位
多方位
多方位
多方位
多方位
多方位
多方位
多方位
多方位
多方位
垂直方向
泵體吸氣口處烘烤溫度
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
120℃以下
振動(島津自測)
0.012μm以下
0.012μm以下
0.012μm以下
0.01μm以下
0.01μm以下
0.01μm以下
0.01μm以下
0.01μm以下
0.01μm以下
0.01μm以下
0.01μm以下
重量(Kg)
9
14
14
31
32
32
34
55
55
70
100
推薦氣體清掃流量(SCCM)
20~30
20~30
20~30
20~30
20~30
20~30
20~30
20~30
20~30
20~30
20~30
前級泵抽速(氣體清掃時)
200L/min以上
200L/min以上
200L/min以上
500L/min以上
500L/min以上
500L/min以上
600L/min以上
500L/min以上
800L/min以上
1500L/min以上
1500L/min以上
容許環(huán)境溫度(℃)
0~40
0~40
0~40
0~40
0~40
0~40
0~40
0~40
0~40
 0~40 
 0~40 
容許磁場密度











                 半徑方向
3mT
3mT
3mT
3mT
3mT
3mT
3mT
3mT
3mT
3mT
3mT
                   軸方向
15mT
15mT
15mT
15mT
15mT
15mT
15mT
15mT
15mT
15mT
15mT
冷卻水











            流量(L/min)
1~3
1~3
1~3
1~3
1~3
1~3
1~3
1~3
1~3
2~4 
2~4 
            水壓(Mpa)
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5
0.2~0.5 
0.2~0.5 
            水溫(℃)
5~30
5~30
5~30
5~30
5~30
5~30
5~30
5~30
5~30
5~25
5~25
對應電源裝置名稱
EI-D203M
EI-D303M
EI-D303M
EI-D1003M
EI-D1003M
EI-D1103M
EI-D1303M
EI-D2003M
EI-D2203M
EI-D3203M
EI-D4203M


EI-D203M
EI-D303M
EI-D1003M
EI-D1103M
EI-D1303M
EI-D2003M
EI-D3203M
EI-D4203M

額定頻率
833Hz
750Hz
1166Hz
1200Hz
1010Hz
450Hz
350Hz
300Hz
蓄電池
不要
不要
不要
不要
不要
不要
不要
不要
組合互換性
泵本體、電源裝置、電纜在相同型號交換時不需要調整,即同型號*兼容
環(huán)境條件 溫度/濕度
0~45℃/40~80HR
電源電壓
單相AC100~120
單相AC100~120
單相AC200~240V
單相AC200~240V
單相AC200~240V
單相AC200~240V
單相AC200~240V
單相AC200~240V
       (50/60Hz)±10%
/200~240V
/200~240V
最大所需電力
0.45kVA
0.55kVA
1.0kVA






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